柜式工業(yè)微波設(shè)備半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中已經(jīng)采用微波等離子體技術(shù)，進(jìn)行刻蝕、濺射、氣相沉積、氧化硅片；還可用于金屬、合金、非金屬的表面處理；用于等離子體光譜分析可檢測(cè)十幾種元素。
   微波生物效應(yīng)分熱效應(yīng)和非熱效應(yīng)。其熱效應(yīng)在方面可進(jìn)行微波、配合放療和化療進(jìn)行透熱治癌；另外還可以利用微波加熱血漿、解凍冷藏器官；還可設(shè)計(jì)微波手術(shù)刀，開(kāi)刀止血快、出血量少。

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